《硅片表面金屬元素含量的測(cè)定電感耦合等離子體質(zhì)譜法》（GB/T39145-2020）【全文附PDF版下載】

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標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T39145-2020

中文標(biāo)準(zhǔn)名稱(chēng)：硅片表面金屬元素含量的測(cè)定電感耦合等離子體質(zhì)譜法

英文標(biāo)準(zhǔn)名稱(chēng)：Test method for the content of surface metal elements on silicon wafers-Inductively coupled plasma mass spectrometry

中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)分類(lèi)號(hào)（CCS） H17 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)分類(lèi)號(hào)（ICS） 77.040

發(fā)布日期 2020-10-11 實(shí)施日期 2021-09-01

主管部門(mén) 國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì) 歸口單位 全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)

發(fā)布單位 國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局、中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

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本文關(guān)鍵詞： 硅片, 表面, 金屬, 元素, 含量, 測(cè)定, 電感, 耦合, 等離子體, 質(zhì)譜法, GB, 2020, 全文, PDF版, 下載